一种减少线宽间隙的新型基板制作流程.pdfVIP

一种减少线宽间隙的新型基板制作流程.pdf

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本发明提供一种减少线宽间隙的新型基板制作流程,包括以下工序:获取原材料,原材料的上下表面带有一层铜层;在带有铜层的原材料板材上进行钻孔的操作并削弱铜层,用于打穿原材料,在原材料上形成需要的孔位结构,并对通孔四周的毛边进行有效去除;在对经过上述形成的通孔内进行镀铜,在孔壁上留下铜层;线路制作;涂布油墨上绿漆,在铜基板表面形成保护层;外观检查后通过无误的进行包装出库。本发明从常规的曝光、显影、蚀刻、褪膜采用曝光、显影、镀铜、褪膜和闪蚀,达到线宽从50um改进成为最小线宽为40um,满足40um以下线

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117750638A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202311533244.1

(22)申请日2023.11.17

(71)申请人海太半导体(无锡)有限公司

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