原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及半导体制备技术领域，特别公开了一种石墨件平整度的检测装置，包括检测平台，用于放置待测石墨件；传动结构，设置于所述检测平台底部，用于带动所述检测平台沿第一方向移动；第一支撑杆和第二支撑杆，沿第二方向分别设置在所述传动结构相对的两侧边，所述第二方向与所述第一方向垂直；激光发射器，固定在所述第一支撑杆上，用于发射检测激光；激光接收器，固定在所述第二支撑杆上，且所述激光接收器设置于所述检测激光的发射路径上，用于接收所述检测激光。利用对待测石墨件进行检测，可以根据激光接收器对检测激光的接收情况来
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117739872A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311738341.4
(22)申请日2023.12.18
(71)申请人希科半导体科技（苏州）有限公司
地
文档评论（0）