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本发明涉及光学特性测量技术领域，公开了一种各向异性半导体光学特性测量装置及其测量方法，包括：光源调控部、样品旋转测量部和光学探测部；光源调控部，用于提供白光、激发光和探测光，对白光、激发光和探测光的极化方向和功率进行调控，并将调控后的光束传输至样品旋转测量部；激发光和探测光的波长不同；样品旋转测量部，用于将调控后的光束汇聚到半导体样品上，并将经半导体样品反射后的光束传输至光学探测部，还用于通过旋转调节半导体样品的方向；光学探测部，用于获取半导体样品在不同方向上对应的吸收光谱、光致发光光谱、光生载
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117740742A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311501608.8G01N21/01(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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