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本发明提供了一种基于等离子体刻蚀和改性作用的金刚石抛光方法，包括：通过夹具将待抛光的金刚石置于刚性抛光盘上方；刚性抛光盘上设置有多个贯通上下的通孔；控制金刚石和刚性抛光盘以相反方向旋转；使包含氧自由基与羟基自由基的大气电感耦合等离子体对金刚石进行加热；当加热到瞬时温度超过表面原子差异化刻蚀所对应的临界转变温度时，产生原子选择性刻蚀和改性作用，完成对金刚石的抛光。本发明在金刚石抛光方法中运用包含高浓度高活性的氧自由基和羟基自由基的大气电感耦合等离子体，通过结合原子选择性刻蚀去除和羟基改性抛光去除实
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117733662A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202410184040.X
(22)申请日2024.02.19
(71)申请人南方科技大学
地址518055
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