原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及电子特气的制备方法，尤其涉及甲基三氯硅烷的提纯方法，其包括以下步骤：（S.1）将吸附填料置于精馏塔中；（S.2）将工业级甲基三氯硅烷与硅胶颗粒置于精馏罐中，搅拌使得甲基三氯硅烷与硅胶颗充分接触，从而完成一级吸附；（S.3）对精馏罐内部物料进行加热，使得甲基三氯硅烷蒸汽进入到精馏塔中并与吸附填料充分接触，从而完成二级吸附；（S.4）收集从精馏塔中的馏分，得到电子级高纯甲基三氯硅烷。本申请中通过多种方案联用，能够有效去除甲基三氯硅烷中的杂质，尤其针对通过传统的精馏手段难以去除的硼化合物、磷
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117736235A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311750939.5
(22)申请日2023.12.19
(71)申请人大连科利德光电子材料有限公司
地址
文档评论（0）