1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种光刻胶剥离液及其应用和光刻胶的剥离方法.pdfVIP

  • 20
  • 0
  • 约1.76万字
  • 约 19页
  • 2024-03-23 发布于四川
  • 举报

一种光刻胶剥离液及其应用和光刻胶的剥离方法.pdf

    本发明提供了一种光刻胶剥离液及其应用和光刻胶的剥离方法，属于光刻胶剥离技术领域。本发明提供的光刻胶剥离液，按质量分数计，包括以下组分：有机胺类试剂5～25％；溶解剂30～60％；缓蚀剂1～15％；水20～50％；所述缓蚀剂包括第一缓蚀剂和第二缓蚀剂，所述第一缓蚀剂为山梨醇和/或甘露醇；所述第二缓蚀剂为甲基苯并三氮唑、苯并三氮唑、亚氨基二乙酸、5‑氨基四氮唑、甲巯咪唑、硝基咪唑、巯基苯并三氮唑、葡萄糖醇、水杨酸和乙二醇中的一种或几种。本发明提供的光刻胶剥离液对光刻胶的剥离效果好，且对金属布线的腐蚀

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117742090A

    (43)申请公布日2024.03.22

    (21)申请号202310008653.3

    (22)申请日2023.01.04

    (71)申请人王芳

    地址621005四川省绵

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >