原创力文档- 2
- 0
- 约4.76万字
- 约 53页
- 2024-03-23 发布于四川
- 举报
根据实施例，提供了一种用于等离子体加工系统的设备。该设备包括接口、辐射结构和导电偏移。该接口包括可耦合到RF源的第一导电板、设置在该RF源与该第一导电板之间的第二导电板、以及设置在该第二导电板与衬底固持器之间的同心导电环结构。这些导电偏移被布置成将同心导电环结构耦合到辐射结构。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117751422A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202280054492.5(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限
您可能关注的文档
- 用于网络控制中继器的远程波束管理.pdf
- 数字水印的系统和方法.pdf
- 侧行链路无线通信中的侧行链路反馈技术.pdf
- 射流调节器.pdf
- 连续移植用连续集合钵盘及其制造方法.pdf
- 从电缆上去除箔屏蔽部的方法.pdf
- 一种光刻胶剥离液及其应用和光刻胶的剥离方法.pdf
- 一种聚酰亚胺膜剥离液及其制备方法和应用、聚酰亚胺膜的剥离方法.pdf
- 调光装置.pdf
- 车辆用座椅导轨.pdf
- BK调光驱动器BK-DUL010-B0350ADF BK-DUL010-B0350ADFL BK-DUL022-B0600ADF BK-DUL022-B0600ADFL BK-DUL042-B BK-DUL060-B说明书用户手册.pdf
- BK广东柏科电源有限公司 恒流调光电源 BK-WAL022S-A BK-WAL040S-A BK-WAL060S-A 说明书用户手册.pdf
- Asia Fruit Logistica 亚洲国际果蔬展览 D1 说明书用户手册.pdf
- Xenon有线二维影像式扫描器Xenon XP 1950g说明书用户手册.pdf
- Beken射频IC BK4819 说明书用户手册.pdf
- 研华工业电脑ITA-168 178系列用户手册.pdf
- WUXI YONGCIN 无锡勇芯科技有限公司 电动牙刷专用芯片 BCL701S1W 用户手册.pdf
- TRAXON皓睿泛光灯三代8W 15W 20W 24W 28W 33W 38W 42W 3 3.5 4 5 6 说明书用户手册.pdf
- 英飞凌科技 风扇控制器 V3 用户手册.pdf
- XYYJ深圳市新宇嘉通讯电子有限公司户外便携电源系列ES-3500A B C D E说明书.pdf
文档评论（0）