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2024-03-23 发布于四川
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加湿模块、测试系统及测试方法.pdf

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本发明公开了一种加湿模块、测试系统及测试方法，加湿模块应用于测试系统，加湿模块包括汽化装置、第一流量控制装置及加湿装置，汽化装置用于在目标流量大于预设流量时将通入汽化装置的液体汽化形成水蒸气，并将水蒸气通入测试装置，第一流量控制装置用于接收气体，并输出气体，且控制输出的气体的流量，加湿装置用于使得通入加湿装置的气体附着水蒸气，且控制附着的所述水蒸气的含量，并输出气体及水蒸气至测试装置，第一流量控制装置用于在目标流量大于预设流量时将气体输出至测试装置，在目标流量小于或等于预设流量时，将气体输出至加

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117732091A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202311751980.4B01L3/00(2006.01)

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