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一种磁控溅射用BNT靶材及利用热压法制备BNT靶材的方法,其中,靶材分子式为Bi(0.45~0.55)Na(0.45~0.55)TiO3,以Bi2O3、Na2CO3和TiO2为原料,各原料的摩尔质量比为:Bi2O3:Na2CO3:TiO2=(104.841~128.139):(23.847~29.147):79.87;利用热压法制备磁控溅射用BNT靶材的方法,通过在烧结过程中施加一定压力,加速粉末颗粒的接触、扩散和流动等传质过程,能够降低烧结温度,有效控制Bi0.5Na0.5TiO3靶材中易挥发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117735980A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311750994.4
(22)申请日2023.12.19
(71
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