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基板运载装置及其运载方法.pdfVIP

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  • 2024-03-23 发布于四川
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基板运载装置及其运载方法.pdf

    一种基板运载装置及其运载方法，该基板运载装置包括待置站、工作站、以及设于待置站与工作站之间的搬运单元；其中，待置站用以放置基板，工作站具有载台与位移台，位移台于至少两个空间位置之间作移动，而载台上则具有位于其中一个空间位置的工作部，工作部用以对基板执行工作目的，以供搬运单元提取基板并于待置站与工作站间作运载；其中，位移台移动至另一个空间位置时，载台以相对远离搬运单元作一次往复动作，使位移台能作回归。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117747469A

    (43)申请公布日2024.03.22

    (21)申请号202211113595.2

    (22)申请日2022.09.14

    (71)申请人联策科技股份有限公司

    地址中国

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