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本发明公开一种磁场辅助陶瓷涂层飞秒激光掠入射烧蚀抛光方法，将陶瓷涂层样品清洗吹干；调制飞秒激光光路，将准直的激光束调制成贝塞尔光束；将固定夹具固定在分度盘上，将陶瓷涂层样品固定在固定夹具上，将分度盘、固定夹具置于三维运动平台上；转动分度盘控制激光束与陶瓷涂层样品的夹角θ；利用计算机调节高重频飞秒激光器的参数；利用振镜系统和三维移动平台控制激光扫描路径和扫描区域；利用永磁铁对陶瓷涂层样品施加轴向磁场。本发明特点是：将飞秒激光调制成长焦距的贝塞尔光束以脉动式扫描路径进行抛光，并利用磁场约束飞秒激光烧
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117733353A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311717035.2
(22)申请日2023.12.14
(71)申请人浙江工业大学
地址313200
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