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本发明提供了一种多自由度可调的晶圆聚焦系统，属于晶圆检测中的聚焦领域，晶圆聚焦系统包括X粗动模块、Y粗动模块、Stewart平台、Z向粗动模块和镜头；X粗动模块和Y粗动模块用于实现在X向和Y向的移动粗调；Stewart平台用于X向、Y向和Z向的精调；Z向粗动模块非接触的设置在Stewart平台上方，通过Z向粗动模块带动镜头实现Z向的移动粗调。通过本申请，可满足精调和粗调节的需求，时间响应快，结构紧凑，并且采用Stewart的平台，不仅仅满足XYZ方向的调节，同时对于chuck的姿态也有3个方向的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117742083A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311800804.5
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人苏州矽行半导体技术有限公司
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