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2024-03-23 发布于四川
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基于二硫化钨场效应晶体管的核酸检测传感器及其在新冠病毒检测中的应用.pdf

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本发明公开了一种基于二硫化钨场效应晶体管的核酸检测传感器及其在新冠病毒检测中的应用。所述传感器的构建包括：(1)使用机械剥离的方法得到层状WS2材料作为FET传感器的沟道材料；(2)将剥离出的WS2转移到SiO2/Si衬底上；(3)旋涂PMMA胶，利用EBL技术在PMMA层上构建电极图案；(4)通过EBE技术蒸镀Cr/Au得到源漏电极；(5)沉积Al2O3钝化层；(6)通过低镀率EBE沉积得到均匀分布的Au纳米颗粒作为探针位点；(7)利用EBL在沟道处制造窗口用于DNA探针修饰；(8)将器件在含

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117737297A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202211150782.8

(22)申请日2022.09.21

(71)申请人南京理工大学

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