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镀膜装置.pdfVIP

镀膜装置.pdf

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    本发明属于半导体技术领域，公开了一种镀膜装置。该镀膜装置包括主腔室、第一副腔室、第二副腔室和加热组件，主腔室相对的两外侧分别连通有第一副腔室和第二副腔室，第一副腔室和第二副腔室能被打开或与主腔室可拆卸设置；加热组件包括多个独立的热丝段，多个热丝段首尾相连,相邻的两个热丝段连接于第一副腔室或第二副腔室中。该镀膜装置能够提高加热组件的安装速度；降低镀膜装置结构的复杂性；提高主腔室镀膜的均匀性，避免同时替换整个加热组件的浪费。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117737694A

    (43)申请公布日2024.03.22

    (21)申请号202311748233.5

    (22)申请日2023.12.19

    (71)申请人拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公

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