原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种调平装置及半导体工艺设备，该装置包括固定部件、活动部件、调平轴组件、第一调平组件和第二调平组件，其中，固定部件与活动部件相对设置；活动部件用于与半导体工艺设备的待调平件固定连接；调平轴组件包括第一转轴和第二转轴，其中，第一转轴沿第一水平方向延伸设置，且可自转地与活动部件连接；第二转轴沿垂直于第一水平方向的第二水平方向延伸设置，且可自转地与固定部件连接，第二转轴的一端与第一转轴固定连接；第一调平组件用于调节活动部件相对于固定部件围绕第一转轴转动的角度；第二调平组件用于调节活动部件相对
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117747398A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311666419.6
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地
文档评论（0）