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本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种硅片承载料托及具有其的运载水箱，本发明的硅片承载料托可以将若干个硅片倾斜堆叠放置在槽位中，硅片依靠自身重力作用紧靠在挡部，并通过两个挡部夹紧固定，有效避免在运输过程中硅片相对料托左右晃动，硅片磕碰到侧部的内壁导致硅片崩边的问题；在需要将硅片从料托中逐片取出时，可将侧部拆下或打开，消除侧部对硅片的限制，可以避免插片机驱使硅片逐片地从槽位中移送时硅片磕碰到侧壁的内壁的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115440636A
(43)申请公布日2022.12.06
(21)申请号202211046907.2
(22)申请日2022.08.30
(71)申请人广东高景太阳能科技
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