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本申请提供一种刻蚀设备，所述刻蚀设备包括：反应腔；进气管路，与所述反应腔顶部连通，所述进气管路上设置有进气阀门；排气管路，与所述反应腔底部连通，所述排气管路上设置有排气阀门；压力检测器，设置于所述反应腔侧壁，用于检测所述反应腔中的气压；压力控制装置，与所述压力检测器、进气阀门、排气阀门通讯连接，所述压力控制装置被配置为当所述压力检测器检测到所述反应腔中的气压异常时控制所述进气阀门和排气阀门关闭。本申请提供一种刻蚀设备，能够高效、可靠、简易、安全且便捷的解决刻蚀设备反应腔压力控制和工艺气体过滤及紧
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220651968U
(45)授权公告日2024.03.22
(21)申请号202322318191.3
(22)申请日2023.08.28
(73)专利权人中芯北方集成电
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