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本实用新型公开了一种热屏及单晶炉热场，热屏包括主体段及与主体段相连的改性段，改性段包括底板和与底板相连的圆弧部，沿热屏的高度方向，改性段的高度小于或等于主体段的高度；热屏具有内部腔体，改性段包括靠近内部腔体的基体层和远离内部腔体的耐蚀层，耐蚀层用于抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀。本实用新型实施例中，耐蚀层能够抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀，使得热屏中的改性段不易被硅蒸气腐蚀，从而延缓了改性段的腐蚀速率，进而提高了热屏的使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220643336U
(45)授权公告日2024.03.22
(21)申请号202322196870.8
(22)申请日2023.08.15
(73)专利权人隆基绿能科技股份有限公司
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