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2024-03-24 发布于四川
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一种压印光罩，包括：基材，具有穿透区块、对位区块及非穿透区块，基材仅使穿透区块提供的固化光线穿过，对位区块能供对位光线穿过；多个光罩对位标记，位于对位区块；以及压印层，形成于穿透区块；其中压印层能供固化光线穿过且于远离基材的表面具有单位图案，该单位图案包含：第一图案，具有第一内边缘与第一外边缘；及第二图案，具有第二内边缘与第二外边缘，并且第一内边缘与第二内边缘彼此间隔有不大于50微米的长形组版缝隙并且皆呈不规则状且形状彼此互补；第一外边缘与第二外边缘则分别位于压印层的相反两侧，并且皆呈不规则状且

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220651056U

(45)授权公告日2024.03.22

(21)申请号202322319447.2

(22)申请日2023.08.28

(73)专利权人光群雷射科技股份有限公司

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