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真空镀膜抽气系统.pdfVIP

真空镀膜抽气系统.pdf

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    本实用新型涉及真空镀膜加工领域，涉及一种真空镀膜抽气系统。本实用新型的抽气组件通过所述抽风管路对真空腔体预抽气后再通过抽气管路对真空腔体进行抽气处理，避免抽气口出现加气或抽气不均匀导致真空腔体内的气压不均匀而造成镀膜质量不佳的问题，通过第二阀门控制抽风管路和、第一阀门控制抽气管路，完成对管路和真空腔体的两段抽真空，使镀膜产品生产过程中镀膜效果达到最好，可以确保真空室内的气压值均匀，有效的提高了镀件的镀膜质量。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220643253U

    (45)授权公告日2024.03.22

    (21)申请号202322003054.0

    (22)申请日2023.07.28

    (73)专利权人合生涂层科技（苏州）有限公司

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