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本实用新型涉及翻转机构技术领域,尤其涉及一种翻转粘合辅助机构。其技术方案包括电推杆、旋转气缸和直线气缸,所述电推杆输出端固定连接有固定座,所述固定座一侧通过转轴转动安装有固定板,所述固定板前表面中间位置处固定安装有直线气缸,所述直线气缸输出轴外表面固定套接有固定管,所述固定管外表面固定安装有连接块,所述固定板前表面靠近上表面和下表面位置处对称转动连接有曲杆,两个所述曲杆外表面靠近连接块的一侧均转动连接有连杆,且两个所述连杆末端分别和连接块上表面和下表面转动连接。本实用新型能够对圆柱体的溅射靶材进
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220637582U
(45)授权公告日2024.03.22
(21)申请号202321989153.4
(22)申请日2023.07.26
(73)专利权人科美(广州)电子材料有限公司
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