GB/T 21287-2021电子特气　三氟化氮.pdf

ICS71.100.20

CCSG86

GB

中华人民共和国国家标准

GB/T21287-2021

代替GB/T21287-2007

电子特气三氟化氮

Electronicspecialtygas-Nitrogentrifluoride

2021-10-11发布2022-05-01实施

国家市场监督管理总局告士

国家标准化管理委员会保W

GB/T21287-2021

前言

本文件按照GB/T1.12020《标准化工作导则第1部分z标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

GB/T21287-2007《电子工业用气体GB/T21287-2007

本文件代替三氟化氮》，与相比，除结

构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下z

一一更改了三氯化氮应符合的技术要求（见第4章，2007年版的第3章〉；

更改了抽样、判定和复验的要求（见5.1,2007年版的4.1);

更改了采样的要求（见5.2,2007年版

的4.1.6);

一一增加了尾气处理的要求（见5.3);

一一增加了试验方法的一般规定（见6.1);

一一更改了纯度计算方法（见6.2,2007年版的4.2);

一一更改了氧＋氧、氮、一氧化碳、工氧化碳、四氯化碳、氧化亚氮、六氟化硫含量的测定方法（见

6.3,2007年版的4.3、4.4);

更改了水分含量的测定方法（见6.4,2007年版

的4.的g

一一更改了可水解氟化物的测定方法（见6.5,2007年版的4.5);

707年版的第5章h

一一更改了标志、包装、运输及贮存（见第章，却

一一更改了安全信息（见7.3,2007年版的附录D)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本文件起草单位z吴华气体有限公司、中船重工（邮郭）派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计

院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市

英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司、吴华气体有限公司

西南分公司、苏州金宏气体股份有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产

晶质量监测处置中

限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资〈上海〉有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江

东开半导体科技有限公司、和立气体〈上海〉有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研

究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分司。

本文件主要