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传感器应用技术
主讲:梁宸
项目七压电式传感器
压电元件的连接与等效电路
1.压电晶片的连接方式
在实际应用中,由于单片的输出电荷很小,为了提高压电元件的灵敏度,因此,组成压电式传感器的晶片不止一片,而是采用两片或多片组合结构。常常将两片或两片以上的晶片粘结在一起。由于压电元件是有极性的,粘结的方法有两种,即并联和串联。
1.压电晶片的连接方式
习近平总书记强调:“爱国主义是我们民族精神的核心,是中华民族团结奋斗、自强不息的精神纽带。”他还指出:“在新的时代条件下,弘扬爱国主义精神,必须把维护祖国统一和民族团结作为重要着力点和落脚点。以铸牢中华民族共同体意识为主线,推动新时代党的民族工作高质量发展。我国是一个统一的多民族国家,民族团结就是各族人民的生命线。中华民族大家庭,56个民族休戚与共、荣辱与共、生死与共、命运与共,共同构成了你中有我、我中有你、谁也离不开谁的中华民族命运共同体。”
2.压电元件的并联结构与特点
并联方法两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上,正电荷集中在两侧的电极上,传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大,故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出信号。
2.压电元件的并联结构与特点
串联方法正电荷集中于上极板,负电荷集中于下极板,而中间极板的上片产生的负电荷与下片产生的正电荷相互抵消,这种接法称为串联。
传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大,故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。
在上述两种接法中,并联接法输出电荷大,本身电容大,时间常数大,适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。而串联接法输出电压大,本身电容小,适宜用于以电压作输出信号,并且测量电路输入阻抗很高的场合。
2.压电元件的并联结构与特点
3.压电元件的串联结构与特点
当压电晶体承受应力作用时,在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。故可把压电传感器看成一个电荷源与一个电容并联的电荷发生器。
其电容量为:
3.压电元件的串联结构与特点
当两极板聚集异性电荷时,板间就呈现出一定的电压,其大小为
因此,压电传感器还可以等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路,如图(b)。
3.压电元件的串联结构与特点
由等效电路可知,只有在外电路负载为无穷大,且内部无漏电时,电压源才能保持长期不变,如果负载不是无穷大,则电路就会按指数规律放电。这对于静态标定以及低频准静态测量极为不利,必然带来误差。
事实上,压电传感器内部不可能没有泄漏,外电路负载也不可能无穷大,只有外力以较高频率不断地作用,传感器的电荷才能得以补充,从这个意义上讲,压电传感器不适宜静态测量。
3.压电元件的串联结构与特点
实际使用时,压电传感器通过导线与测量仪器相连接,连接导线的等效电容CC、前置放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci对电路的影响就必须一起考虑进去。当考虑了压电元件的绝缘电阻Ra以后,压电传感器完整的等效电路可表示成图5-6所示的电压等效电路(a)和电荷等效电路(b)。这两种等效电路是完全等效的。
(a)电压源(b)电荷源
3.压电元件的串联结构与特点
值得注意的是:
利用压电式传感器测量静态或准静态量值时,必须采取一定的措施,使电荷从压电晶片上经测量电路的漏失减小到足够小程度。而在动态力作用下,电荷可以得到不断补充,可以供给测量电路一定的电流,故压电传感器适宜作动态测量。
由等效电路可知,压电式传感器的泄漏电阻与前置放大器的输入电阻相并联,为保证传感器和测试系统有一定的低频(或准静态)响应,就要求压电传感器的泄漏电阻在1012W以上,才能使内部电荷的泄漏减少到满足一般测试精度的要求;与此相适应,测试系统则应有较大的时间常数,亦即前置放大器要有相当高的输入阻抗,否则传感器的信号电荷将通过输入电路泄漏,即产生测量误差。
3.压电元件的串联结构与特点
既然压电传感器可以等效为电压源或电荷源,那么,压电传感器的灵敏度也有两种表示方式。
一种用单位外力作用下产生的电压表示,称为电压灵敏度,用Su表示,Su=u/F;
另一种则可用单位外力作用下产生的电荷表示,称为电荷灵敏度,用Sq表示,Sq=q/F。它们之间的关系可用下式表示:
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