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一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置.pdfVIP

一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置.pdf

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    本发明提供了一种晶圆清洗的测速轮制动方法及晶圆清洗装置，应用于设置有电磁制动器的测速轮，电磁制动器包括定子、转子、线圈绕组，定子靠近转子的侧面包括摩擦片，转子与测速轮的转轴固定连接，方法包括：向线圈绕组通入第一脉冲电流，使得线圈绕组充磁，吸引定子向靠近转子方向移动直至与摩擦片接触摩擦制动；向线圈绕组通入第二脉冲电流，使得线圈绕组消磁，定子与摩擦片脱离，解除对测速轮的制动限制。本发明通过第一脉冲电流对线圈绕组进行磁化，使得线圈绕组产生恒定的磁场，电磁制动器在对测速轮维持制动状态或维持解除状态时无需

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117766437A

    (43)申请公布日2024.03.26

    (21)申请号202311849725.3B08B1/34(2024.01)

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