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本发明公开一种柔性隔离传感阵列及其制造方法，包括柔性传感基片、电极阵列和柔性保护膜。电极阵列包括横向导电膜、纵向导电膜、电阻块阵列和柔性底片；柔性保护膜包括上柔性保护膜和下柔性保护膜。柔性传感基片的下表面设置有凹陷式微结构，微结构的凹陷区的表面有导电层，微结构的棱边不导电，因此凹陷式微结构彼此之间处于电隔离状态。横向导电膜、纵向导电膜和电阻块阵列均粘附在柔性底片上，横向导电膜和纵向导电膜上下错开穿过电阻块阵列。柔性传感基片的下表面与电阻块阵列的上表面接触。本柔性隔离传感阵列信号稳定且无串扰，制备
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117760599A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311462879.7
(22)申请日2023.11.03
(71)申请人华南理工大学
地址510640
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