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本发明涉及设备管理技术领域，公开了一种加工设备健康监测方法、装置、电子设备和存储介质。关于方法，采集加工设备中关键部件的工艺数据；构建设备物理模型，建立所述设备物理模型与所述工艺数据之间的映射；定义所述加工设备正常工作时各项所述工艺数据的标准水平；实时监测关键因子参数，基于所述标准水平，并分析所述关键因子参数是否异常和/或评估所述关键因子参数波动的劣化趋势；当所述关键因子参数异常和/或所述关键因子参数进入到劣化预警范围时，发出预警信息。本申请的技术方案，获取加工设备之关键部件或关键部件的工艺数据
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117763795A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311522375.X
(22)申请日2023.11.15
(71)申请人上海轩田工业设备有限公司
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