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本发明公开一种载具及载具用齿杆，其中，载具用齿杆包括杆部和齿部，所述齿部的数量为多个，各所述齿部沿所述杆部的延伸方向间隔布置，各所述齿部均包括在所述延伸方向上相对设置的两个第一齿侧面，相邻的两所述齿部的相邻两所述第一齿侧面之间形成容纳槽，所述齿部包括齿尖端和齿根端，所述齿根端和所述杆部相连；在所述齿尖端指向所述齿根端的方向上，所述容纳槽渐缩设置，所述第一齿侧面包括多个面部，相邻的两所述面部之间平滑连接。上述载具用齿杆不易对硅片造成划伤脱晶，有利于保证硅片的质量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117755645A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311781574.2
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人江苏微导纳米科技
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