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本发明涉及低温真空样品转移系统，其包括：转移模块，配置为承载待转移样品，其悬浮于磁悬浮滑轨；转移腔体，用于提供样品转移的真空腔体环境；磁悬浮滑轨，用于使所述转移模块沿所述磁悬浮滑轨无接触移动；至少一个快速进样腔，用于实现所述样品由所述快速进样腔进入所述转移腔体；至少两个功能腔体，用于对所述样品进行不同功能的操作；以及抽真空模块，配置为使所述腔体内部维持为真空环境。该转移系统实现样品在真空中的传输，减少了传输阻力、避免了与滑轨的直接接触磨损、延长了滑轨的使用寿命和样品在低温的维持时间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117755829A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311788112.3
(22)申请日2023.12.25
(71)申请人中国科学院物理研究所
地址10
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