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2024-03-27 发布于四川
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一种晶圆钝化装置.pdf

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本公开提供一种晶圆钝化装置，包括：用于放置晶圆的钝化工作台；用于在晶圆表面扫描涂布钝化液的扫描单元，设置于钝化工作台上方，且相对钝化工作台可移动；用于配制钝化液的钝化液配制单元，包括至少两个配制瓶、混合容器及注射器，不同配制瓶被配置为用于盛放不同溶液，混合容器分别连通至不同配制瓶，混合容器被配置为用于可将不同溶液混合成钝化液，注射器被配置为连通至混合容器及扫描单元，以从混合容器抽吸钝化液、或向扫描单元排放钝化液；控制单元，与扫描单元及钝化液配制单元分别连接，用于控制扫描单元及钝化液配制单元的工作

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220672527U

(45)授权公告日2024.03.26

(21)申请号202322263140.5

(22)申请日2023.08.22

(73)专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公

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