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本发明公开了一种基于扫频OCT的激光打标装置，包括：打标激光头、升降机构、打标工作台，所述升降机构与所述打标激光头连接，所述打标激光头内设有：打标激光系统，所述打标工作台位于所述打标激光头下方，所述打标激光头内还设有：扫频OCT系统，所述扫频OCT系统的样品臂与所述打标激光系统具有重合的光路。本装置利用在打标激光头内设置扫频OCT系统，并且扫频OCT系统的样品臂与打标激光系统具有重合的光路，不需要添加额外的光路空间，利用扫频OCT系统的特征减低了对工件平面反射能力的要求，该装置简单可靠，可广泛应
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN107931850A
(43)申请公布日
2018.04.20
(21)申请号20171
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