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2024-03-27 发布于四川
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本发明公开了一种喷淋装置，包括：设有绕流结构的原料舟；第一喷口，喷出在原料舟中形成的第三反应气体；第二喷口，喷出隔离气体；第三喷口，喷出第二反应气体；第二喷口和第三喷口依次套设于第一喷口外；第二喷口相对于第三喷口向上缩进，第一喷口相对于第二喷口向上缩进。通过在原料舟中设置绕流结构，使得通入原料舟的第一反应气体在原料舟中绕流，以更好地延长第一反应气体在原料舟内的流动时间，使其与原料舟内的原料充分反应生成第三反应气体，提高气体利用率；同心设置的多个喷口及其内缩，提高了混合气体的扩散均匀度，改进了反应

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117758361A

(43)申请公布日2024.03.26

(21)申请号202311790875.1

(22)申请日2023.12.22

(71)申请人东莞市中镓半导体科技有限公司

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