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本发明公开了一种光子惯导芯片及其制备方法，包括布置在SOI晶片上的光子陀螺与加速度计，所述光子陀螺包括环形谐振腔，及连接在环形谐振腔上的第一直波导与第二直波导；所述加速度计包括跑道型谐振腔，所述跑道型谐振腔的一条直边上连接第三直波导，另一条直边上设置有质量块，所述质量块的下方设置有悬空区域；第一直波导与第二直波导的输入端连接第二Y分支波导的输出端，第二Y分支波导的输入端及第三直波导通过第一Y分支波导连接，接收输入端耦合光栅的光信号，实现了惯导芯片的集成化与微型化，提高灵敏度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115267971A
(43)申请公布日2022.11.01
(21)申请号202210954356.3G01C21/16(2006.01)
(22)申请日2022.08.
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