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本发明提供了一种虚拟化探针台及虚拟化测试系统，包括：底座、图像采集设备、位置调整装置、探针以及AET测试设备；底座上预先设置有模拟晶圆；模拟晶圆基于IC芯片以及PCB板构建；图像采集设备与显示器相连；位置调整装置获取用户指令根据用户指令，调整探针与模拟晶圆的相对位置，将探针和模拟晶圆的目标引脚相连；AET测试设备向目标引脚输入预设的测试参数，获取目标引脚对应IC芯片的测试结果；图像采集设备获取模拟晶圆和探针进行电气接触时的图像信息；显示器显示测试结果以及图像信息。该虚拟化探针台通过与真实设备的物
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117765788A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311789332.8
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人杭州朗迅科技股份有限公司
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