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一种半导体晶圆槽式清洗设备的烘干装置.pdfVIP

一种半导体晶圆槽式清洗设备的烘干装置.pdf

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    本实用新型公开了一种半导体晶圆槽式清洗设备的烘干装置，包括电动导轨、提篮和烘干桶，所述提篮与电动导轨相连，电动导轨用于将提篮送入烘干桶的内腔中，烘干桶采用石英加热管进行加热，对置于提篮上的半导体晶圆采用热辐射的方式进行烘干。本实用新型结构新颖、控制简单、为客户节省气体用量、减少人工接触产品、降低成本。

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220670135U

    (45)授权公告日2024.03.26

    (21)申请号202322383951.9

    (22)申请日2023.09.04

    (73)专利权人南京攀诺德自动

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