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本公开实施例提供一种等离子体发生器的启辉电路及启辉方法，所述启辉电路包括第一变压器、反应腔室，所述反应腔室包括启辉间隙；所述供电电源向启辉电路提供第一电压信号，向所述维持电路供电第二电压信号；所述第一变压器包括第一磁芯和第一次级绕组；所述第一次级绕组向所述反应腔室提供第三电压信号；在所述第三电压信号的作用下，进入到所述启辉间隙的气体被电离；所述维持电路包括第二变压器，所述第二变压器包括第二磁芯；所述第一磁芯与所述第二磁芯为不同的磁芯。上述启辉电路的电压调节更加灵活。可以降低启辉电路成本和提高启辉
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117769105A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311863272.X
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人深圳市新凯来工业机器有限公司
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