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本发明公开了一种集成位置检测单元的磁悬浮装置及磁悬浮转台，包括定子和转子，转子包括转子主体和第一环缘，定子包括永磁装置和第一悬浮控制组件，第一悬浮控制组件配置为向转子的第一环缘施加主动控制的悬浮力，永磁装置配置为向转子施加永磁偏置磁场，转子与定子之间具有腔壁，磁悬浮装置还包括位置检测单元，位置检测单元设置于定子内，位置检测单元包括导磁部件和激磁检测部件，导磁部件与第一环缘构成磁回路，激磁检测部件设于磁回路中并配置为透过腔壁检测转子的位置。本发明无需在真空腔体上制作通孔及使用密封圈，解决了装配传感
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117767798A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311510126.9
(22)申请日2023.11.14
(71)申请人苏州苏磁智能科技有限公司
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