表面化学分析 俄歇电子能谱 选择仪器性能参数的表述.pdf

表面化学分析—俄歇电子能谱--选择仪器性能参数的表述

1范围

本文件给出了表述俄歇电子能谱仪特定性能参数的要求。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

ISO18115-1表面化学分析词汇第1部分：通用术语及谱学术语（Surfacechemicalanalysis—

Vocabulary—Part1:Generaltermsandtermsusedinspectroscopy）

注：GB/T22461.1—2023,表面化学分析词汇第1部分：通用术语及谱学术语（ISO18115-1:2013，IDT）

3术语和定义

ISO18115—1界定的术语和定义适用于本文件。

4符号和缩略语

下列符号和缩略语适用于本文件。

AES：俄歇电子能谱（也指俄歇电子能谱仪）（Augerelectronspectroscopy(alsoAugerelectron

spectrometer)）

FWHM：半高峰宽（fullwidthathalfmaximum）

rms：均方根（rootmeansquare）

SAM：扫描俄歇电子显微镜（也指扫描俄歇电子显微术）[scanningAugerelectronmicroscope(also

scanningAugerelectronmicroscopy)]

SEM：扫描电子显微镜（scanningelectronmicroscope）

FL：费米能级（Fermilevel）

VL真空能级（vacuumlevel）

注：一直以来，AES仪器的动能标参考VL，而XPS或AES/XPS联合谱仪则参考FL。从FL参照转换为VL参照

是通过从电子动能中扣除谱仪逸出功而实现；一种近似方法是从FL参照的动能中扣除4.5eV，这对于大多数

实际AES和SAM应用是令人满意的。

5选择仪器性能参数的表述

5.1分析方法

应简要叙述用于从样品获得信息的方法，并应说明在所考虑的系统中可选择的其他分析技术。

5.2样品

1

应给出规范运行的仪器可分析的样品大小和形状。如果某些特殊的分析模式（例如变角测量、绝缘

体测量等）对样品大小或形状有限制，应详细说明。

5.3系统构成

应描述系统重要分析部件的设计几何结构及其公差。

示例：角度公差常为±1°。

5.4电子枪阴极

5.4.1阴极类型

应说明阴极系统。

示例：热钨丝、六硼化镧(LaB)、钨(110)冷场发射，或肖特基（Schottky）。

6

5.4.2阴极寿命

应说明在5.5中规定的操作条件下阴极的预期寿命。应说明在5.5中选定的源电压下的发射电流。

这通常为保证的寿命，但也可能是平均寿命。寿命的类型应予说明。

5.5横向分辨和束流

5.5.1通则

应说明以下的两类横向分辨：

a)SEM是在最佳操作条件下获得的；

b)AES是在指定条件下对每一给定的束能。

横向分辨的测量值应是用5.5.2、5.5.3或5.5.4所述的方法之一获得的。应给出在5keV和/或10keV

和其它适宜的电子束能量下作为束流的函数的典型横向分辨曲线。

注：如果仪器的横向分辨函数能用一个高斯函数来表示，那么该函数的FWHM就相当于测量信号从其最大值的12%

到88%的两点间距离。在AES中，俄歇跃迁电子的点扩散函数是一个叠加到大量背散射电子信号上的高斯分布。

因此，可方便地把AES的横向分辨定义为相当于横贯台阶刃边的俄歇信号强度从20%变化到80%的两点间距离，

也相当于高斯分辨函数的71.5%。尽管这一定义方法没有物理基础，但却被广泛地应用。横向分辨方法见ISO/TR

19319[3]。

5.5.2方法1

应分析的样品有一个小于仪器标称的横向分辨的30%的特貌区。该区的特征俄歇电子信号扫描线

的FWHM定义为横向分辨。