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二氯二氢硅反歧化技术介绍
南京丰多工程技术2023年9月28日
目录
概述
反岐化工艺
工艺指标和条件
本钱及效益分析
合作方式
性能保证
概述
在西门子多晶硅工艺中,会产生二氯二氢硅、硅烷等低沸点物质。
假设把二氯二氢硅循环回CVD反响器，会产生不定型硅、菜花料等不利影响，当二氯二氢硅浓度过高时会影响安全生产。
假设把二氯二氢硅分别出来，由于二氯二氢硅是一种沸点只有8.2°C，自燃温度为58°C的强腐蚀有毒气体，不宜在现场长期存储。
承受洗涤除去二氯二氢硅，会消耗肯定量的碱或石灰并消耗肯定量的水。二氯二氢硅反歧化技术不但可以处理二氯二氢硅，还可以得到三氯氢硅，同
时
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