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提供在使用磁轴承的悬浮系统中、运转效率良好、且能够安全地从振荡等异常状态恢复、异常的误检测较少且可靠性较高的磁轴承装置及真空泵。具备:磁轴承,将旋转体以磁力悬浮支承在空中;以及磁轴承控制器,对磁轴承进行控制;具备:第1异常检测机构,基于规定的第1异常条件,检测由磁轴承控制器进行的控制的异常;控制参数修正机构,当由第1异常检测机构检测到控制的异常时,一边继续磁轴承装置的运转一边将磁轴承控制器的控制参数修正;第2异常检测机构,基于异常的程度比第1异常条件大的规定的第2异常条件,检测由磁轴承控制器进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117795213A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202280053335.2(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公
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