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本实用新型涉及晶圆检测探针技术领域，更具体地说，它涉及一种探针台及其高精度重负载探针升降机构，其中，高精度重负载探针升降机构包括底座、活动块和导向机构，所述活动块可升降地设置在所述底座上，所述活动块用于供探针安装；所述导向机构用于对活动块的升降导向；导向机构包括滚针导柱，以通过滚针导柱对活动块的升降导向。根据本实用新型的技术方案，通过采用滚针导柱为活动块的升降导向，相对于现有技术中滚珠导柱的点接触，滚针导柱为线接触，滚针导柱能够更好的发挥导柱的刚性优势，确保在重负载下，滚针导柱的形变小，从而导向
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220690992U
(45)授权公告日2024.03.29
(21)申请号202322168564.3
(22)申请日2023.08.14
(73)专利权人广东华矽半导体设备有限公司
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