GB/Z 43684-2024纳米技术　光栅的描述、测量和尺寸质量参数.pdf

ICS07.120

CCSL04

中华人民共和国国家标准化指导性技术文件

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GBZ436842024IECTS626222012

纳米技术、

光栅的描述测量和

尺寸质量参数

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2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBZ436842024IECTS626222012

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

3.1基本术语……………1

3.2光栅相关术语………………………3

3.3光栅的种类…………………………5

3.4光栅质量参数术语…………………7

3.5表征光栅的测量方法类别…………9

4缩略语……………………10

5光栅校准和质量表征方法………………10

5.1概述……………