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本发明涉及温度测量技术领域，具体说是一种应用于刻蚀机的晶圆温度测量装置。它的特点是包括短圆筒状的壳体，壳体的口部固定有盖板，壳体内腔的底部设置有不少于两个同心环，同心环均与壳体间呈同心设置，同心环与壳体底部间均呈周向转动、轴向固定状配合，同心环上方的盖板上沿对应同心环的周向均布有通孔，通孔内均有测温头，测温头与对应的同心环间均有连动机构，同心环转动，对应的测温头在通孔内上、下活动，测温头伸出、进入通孔，壳体上有驱动装置，用于驱动同心环转动。该测量装置的自动化程度高，测温头的使用寿命长。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790372A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311851847.6
(22)申请日2023.12.29
(71)申请人无锡芯汉电子科技
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