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本发明涉及真空设备技术领域,具体的说是一种真空多弧离子镀膜机弧源组件,包括:法兰盘、靶座、线圈座、线圈罩、冷却送水管、靶材座、绝缘套底座、绝缘套上层、靶材、驱动机构和引弧针。所述引弧针通过驱动机构驱动上下移动,向上移动时触碰靶材向下时移动脱离靶材。本发明在法兰盘上加装块状磁铁和环状磁铁,使得材料利用率更高,达到节能效果,降低企业制造成本;使得加工出来的产品质量更高,块状磁铁和环状磁铁在工作时,使得蒸发的离子更加细化和精致,能够令产品很好地吸附上色,细化的离子吸附到产品上比原有产品更加耐磨,耐腐蚀
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117778965A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202211148628.7
(22)申请日2022.09.21
(71)申请人陕西莱普特设备有限公司
地址7
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