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本申请公开了一种扩晶机及其控制方法，涉及扩晶机技术领域，用于实时调节芯片之间的间距，提高扩晶机的扩晶精准度和扩晶程度的再现性。扩晶机的第一驱动模块一端的工作台面穿过第一通孔，工作台面上设置待测膜片。第二驱动模块与第一环状固定件位于待测膜片的两侧，被配置为与第一驱动模块共同固定待测膜片。图像采集模块设置于第一支架远离第一基板的一端，且与第一支架滑动连接，被配置为采集待测膜片的图像信息，获取待测膜片上的相邻两个芯片之间的间隙。第一驱动模块被配置为控制工作台面沿垂直于第一基板的方向移动，以根据待测膜片
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790661A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202211152135.0
(22)申请日2022.09.21
(71)申请人合肥欣奕华智能机
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