一种探测基板、其制作方法及平板探测器.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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一种探测基板、其制作方法及平板探测器.pdf

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本发明实施例提供了一种探测基板、其制作方法及平板探测器，通过将第二绝缘层设置在有源层和有源掺杂层之间，且第二绝缘层在衬底基板上的正投影覆盖有源层的沟道区在衬底基板上的正投影，这样在采用刻蚀工艺制作有源掺杂层时，第二绝缘层可以作为刻蚀阻挡层保护有源层，使得薄膜晶体管沟道处的有源层不会被刻蚀，从而可以使得薄膜晶体管的开关特性更好；并且，本发明实施例中的有源层、有源掺杂层、源极和漏极可以采用同一道mask，相比于相关技术中可以减少一张有源层掩膜版，降低工艺复杂度和成本，提高良率。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117790580A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202211150857.2

(22)申请日2022.09.21

(71)申请人北京京东方传感技术有限公司

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