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本申请公开了一种晶圆分类方法及装置，涉及晶圆制造技术领域。其包括机架，机架内设有移动组件及中转组件，移动组件用于移动晶圆，中转组件用于对待分类晶圆进行预处理；机架的侧面设有晶圆储存组件，用于放置所述待分类晶圆与完成预处理的晶圆。通过将晶圆容器分成初始晶圆容器和目标晶圆容器，并对所有的晶圆容器进行序号的编制；然后基于序号确认初始晶圆容器，并取出其内部的待分类晶圆，并获得待分类晶圆的分类要求，基于分类要求可以至少获得目标晶圆容器的序号；接着对取出的待分类晶圆进行预处理，将预处理后的待分类晶圆放入目标
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790364A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311721756.0
(22)申请日2023.12.14
(71)申请人苏州桔云科技有限公司
地址21
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