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一种测量方法、测量系统及测量设备.pdfVIP

一种测量方法、测量系统及测量设备.pdf

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    一种测量方法、测量系统及测量设备，其中所述测量方法包括：通过所述第一测量组件对所述第一表面进行测量，获取第一表面在所述测量坐标系下的坐标得到第一基准面；根据待测侧壁的第一待测位置与第一表面的第一参考位置关系，获取第一待测位置在所述测量坐标系的第一位置坐标，所述第一位置坐标与第一基准面的相对位置关系与所述第一参考位置关系相同；使所述第二测量组件根据所述第一位置坐标对第一待测位置进行测量，获取所述第一待测位置沿待测方向的测量坐标，所述待测方向与所述第一基准面平行或所述待测方向与第一基准面具有锐角夹角

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117781923A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202211155665.0

    (22)申请日2022.09.22

    (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

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