石英音叉光声光谱谐振参数的检测系统及其检测方法.pdfVIP

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2024-03-30 发布于四川
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石英音叉光声光谱谐振参数的检测系统及其检测方法.pdf

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本发明提供一种石英音叉光声光谱谐振参数的检测系统及其检测方法，检测系统包括：石英音叉、谐振结构、驱动设备、检测设备和计算模块；至少一个谐振结构可活动地设于石英音叉的一侧；驱动设备、石英音叉和检测设备依次电连接，且形成检测回路；驱动设备用于输出频率可调的正弦波电压信号，检测设备检测石英音叉在第一状态下输出的第一电压信号以及在第二状态下输出的第二电压信号；计算模块基于第一电压信号和第二电压信号，获取耦合效率；在第一状态下，石英音叉的周侧未设置谐振结构，在第二状态下，谐振结构位于距离石英音叉端部的预设

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117783001A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311800344.6

(22)申请日2023.12.25

(71)申请人中国科学院半导体研究所

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