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一种等离子蚀刻清洗系统.pdfVIP

一种等离子蚀刻清洗系统.pdf

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    本发明公开了一种等离子蚀刻清洗系统，包括：槽体：内部盛放清洗液，槽体的侧壁上沿其长度方向开设有呈波浪状的导向槽；移动杆：端部插入到导向槽内，移动杆的端部安装有行走轮，料篮通过卡勾安装在移动杆上；行走轮的侧面固定安装有固定框，固定框内部固定安装有定位杆，移动杆通过连接组件在移动杆上滑动；移动杆上安装有导向轮，导向轮与在导向槽内滑动；行走轮通过连接组件带动移动杆移动，导向轮使移动杆沿导向槽移动。本发明中，导向轮在导向槽内移动时，会使得移动杆不断的上下移动，使得料篮不断的上下移动，料篮内的被清洗物与清

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117794088A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202311851605.7

    (22)申请日2023.12.29

    (71)申请人超芯微科技（苏州）有限公司

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