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本申请实施例涉及一种MEMS器件及其制备方法和MEMS微镜，包括：提供衬底，衬底包括彼此相对的第一表面和第二表面；在第一表面形成器件结构层，器件结构层的至少部分用于形成可动结构；在第二表面形成向内部延伸的第一凹槽，使衬底形成为包括位于第一凹槽底部的第一部分和未形成第一凹槽的第二部分；在第一部分的表面形成向内部延伸的多个第二凹槽，位于相邻的第二凹槽之间的第一部分保留形成加强筋结构，在垂直于第一表面的方向上，加强筋结构位于可动结构的投影范围内；第二部分用于形成支撑结构，加强筋结构的厚度小于支撑结构的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117776098A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311818309.7G02B26/10(2006.01)
(22)申请日2023.12.
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